能量色散X射线谱

能量色散X轮曾工务错叶音射线谱英文全称:Energy D来自ispersive Spectros州希胶copy，原理:利用不同元素的X射线光子特征能量不同进行成分分析。

• 中文名 能量色散X射线谱
• 外文名 :Energy Dispersive Spectroscopy
• 缺点: 分辨率低.
• 优    点 能谱仪探测X射线的效率高。

特点

　　与来自WDS相比具有以下优缺点:

优点

　　(1)能谱仪探测X射线的效率高。

　　(2)在同一时间对分析点内所有元素X射线光子的能量进行测定和计数，在几分钟内可得到定性分析结果，而波谱仪只能逐个测量每种360百科元素特征波长。

　　(3)结构简单，稳定地胡阳项状般绝黄性和重现性都很好

　　(4)不必欢见天聚焦，对样品表面无特殊要求，适于粗糙表面分析。

缺点

　　(1)分辨率低.

　　(2)能谱仪只能分析原子序数大于11的元素;帮半而波谱仪可测定原子序数从4到92间的所有元素。

　　(3)能谱仪的Si(Li)探头必须保持在低温态，因此必须时时用液氮冷却。