平面等倾干涉仪

平面等倾干涉仪是采用等倾干涉原理，主要用于平面度量值传递中的一种高精度测量仪器。

简介​

　　平面等倾干涉仪是采用等倾干涉原理，主要用于平面度量值传递中的一种高精度测量仪器。用于检定尺寸较大的平晶(一般直径大于100mm,小于300mm)、各种尺寸的长平晶和标准平尺(研磨平尺)的平面度。