
《硅身新载兰锗的性质》是于2002年力种热国防工业出版社出版图书,作者是卡斯珀。由31位来自德国、美国、加拿大、英国、日药如专河鸡较造本等国Si基异质结构和应用领域的教授们撰稿,是一本论述SiGe/Si知识的权威性来自专著。
- 书名 硅锗的性质
- 作者 卡斯珀
- 原作品 Properties of Strained and Relaxed Silicon Germanium
- 出版社 国防工业出版社
- 出版时间 2002年9月1日
内容介绍
《硅锗的性质》共七章,第一章综述了SiGe应变层系统的一些总体性质;第二章至第六章给出了应变的和弛豫的SiG细半海春奏矛龙数张突e合金的具体材料性质,论述了SiGe材料的结晶学、异质结构、热学性质、力学和晶格振动、能带结构、输运特性、磁学特性、表面性质、光吸收和光谱等方面的内容来自;第七章介绍了一些代表性的SiGe/Si器件的结构和特性。
《硅锗的性质》是半导体领域的学者和工程技术人员的必读书,适于材料专业和半导体专业的科技人员、研究生封了设保征却约食、博士生阅读,还状斗烈以伤可供物理领域中的广大科技人员作为手册360百科进行查阅。
继Si之后,SiGe/Si是研究得最多、最深入的一类Si基异质商的甲须令边与材料。应变的和弛豫的SiGe已氧经成为电子集成电路和光电子集成电路的非常重要的材料。
作者简介
译者记局点居去法象销确穿:余金中 编者:(德国)才材哥卡斯珀 (Erich Kasper) 合著者:王杏华 王海跟较构流更推婷普物列莉 夏永伟
Eric素保跟不体怎做理h Kasper(卡斯珀),自1994年以来一直担任德国斯图加特大学半导体研究所所长,长期从事量子电子器件的理论和纳米结构自组织的器件结构MBE研究工作,在SiGe的研究领域具有很高的国际声儿上丰失点胜望,并有两本专著和近百篇论文发表。
图书目录
第一章 引言
1.1 应力引起的外延薄膜的形貌不稳定性和成岛
1.练迫介新犯化2 SiGe/Si系统中束示周相型缺死失配位错网络的平衡理论
1.3 SiGe/Si系统中亚稳应变层的结构
第二章 结构特性
2.1 来自SiGe合金系的晶体结构、晶格常数和固一液相图
2.2 SiGe合金的有序性
地头言介架 2.3 Si/Ge界面:结构、能量和互扩散
第三章 热学、力学和晶格振动学性质
3.1 SiGe的弹性常数
3.2 SiGe的热力学性质
3.3 SiGe中的光学声子、声学声子和Raman光谱
第四章 能带结构
4.1 SiGe的能隙和能带结构及它们同温度的依赖关系
4.2 应变对SiGe价带结360百科构的影响
4.3 应变对SiGe导带结构的影响
4.4 SiGe中的有效质量
4.5 SiGe异质结和带偏家草送各叶企零主上略问移
4.6 SiGe的光谱
4.7 弛豫的SiGe合金的光学函数及应叫料修黑带战生代触变对光学函数的影响
第五章 运输特性
5.1 SiGe/Si 需今居学河系中的电子和空穴的迁移率
5.2 Si/SiGe 异质结的注入
5.3 SiGe/Si 结构中的磁运输特性
第六章 表面性质
第七章 细范案益够力临清Si 基器件的结构和重要数据集锦
图书序言
发明了双极晶体管之后,经过几但跑章场夜半皮年等屋年时间,电子半导体的基本材料由锗变为硅。就是在1否法秋960年前后的这一转变时期,人们对无应变的SiGe合金体材料产生了相当的兴趣。自1985年起,分子束外延等先进外延生长技术使得在Si衬底上生长高质量薄膜的应变SiGe层成为可能。制成的SiGe/Si结构大大刺激了对硅基异质结构的研思是究,之后的几年内,研制出了最快的硅基晶体管,并显示出了许多令人神往的机遇。
本书将满足读者三种不同的要求。第一章综述了需要注意的应变层系统的一些此望病者看钟总体性质。SiGe/Si异质结构中,Si和Ge具有类似的化学特征,使其化学效应降至最低,因此,在应力的驱动下,这种异质结构会产生一些物理现象,我们可以将其看作是典型的系统。