阴极电弧源

阴极电弧源来自，离化率高，离子流论密度大，离子流能量高，沉积速率快，膜希亮湖还轮均毫基结合力好，利用固体靶材，没有熔池，靶材可以任意位置安装以保证镀膜均匀，可以沉积金属膜、合金膜，也可360百科以反应镀合成各种化合物传什同表膜(氮化物、碳化物、氧化物)，甚至可以合成DLC膜、CNx膜等，设备操作简单很沉连定，技术易于推广。

• 中文名称 阴极电弧源
• 正文 真空阴极电弧源沉积技术
• 设备 真空系统
• 设备2 阴极电弧蒸发源

　　真空阴极来自电弧源沉积技术发展的概况

　　上世纪80年代推广真空阴极电弧镀TiN，很快360百科席卷全球，90年代掀起了阴极电弧镀膜热，成为硬质保护膜生产主流技术，广泛应用在工具镀、装试镀和特殊功能镀膜领域。

　　真空阴极电弧沉积，俗称多弧镀。

　　优点:离化率高，离子流密度大，离子流能量高，沉积速率快，膜基光占离陈上比结合力好，利用固体靶材，没有熔池，靶材可以任意位置滑目端运安装以保证镀膜均匀，可以沉积金属膜、合金膜，也可以反应镀合成各种化合物膜(氮化物、碳化物、氧化物)，甚至可以合成DLC谁部器膜、CNx膜等，设备操作简单，技术易于推广。美中不足的是，在沉积时，从靶材表面体坚斗围迅烧飞溅出微细颗粒，在所镀膜层中冷凝使膜层粗糙度增加。

　　广泛用于涂控哪地庆仍企志击离找镀刀具、模具的超硬保护层，膜系包括TiN课即、ZrN、TiAlN、TIC少创费担般笑浓、TiCN、CrN、DLC等，镀层产品包括钻头、铣刀、齿轮刀具、丝锥、剪刀、么导织切刀、顶头、冲模等。

　　装饰膜系包括TiN、毫迅硫ZrN、TiAlN弱请坏伤投防架升秋激除、TIC、TiCN、CrN等等，镀膜产品包括表件、日用五金件、卫浴洁具、建筑五金件、表壳、表带明氧错、小饰品、不锈钢板等等罪，彩色膜除仿金色外，还有枪黑、乌黑、玫瑰金、棕色、蓝色、绿色、灰落用罪法更按称里志响色、银色以及幻彩等等。

　　阴极电弧设备(来自北京丹普表面技术有限公司)

　　1.真空系统 2.阴极电弧蒸发源 3.偏压系统 4.供气系统 5.节流阀系统

　　6.加热系统 7.测温系统 8.工件转架系统 9.冷宁之景孔害首月呀却水系统 10.控制系统