
硅传感器,是用于医学、军事与航空航天、工业和汽车应用。基本原理是利用半导体的压阻效应和微机械加工技术,在单晶硅片的特定晶向上,用光刻、扩散选回束宽等半导体工艺制做一惠斯登电桥,形成敏感膜片,当受到外力作用时产生微应变,电阻率发生变化,使桥臂电阻发生变化(一对变大一对变小)在激励电压信号输出,经过计算机温度补偿、激光调阻、信号放大等处理手段和严格的装配检测、标定等工艺,生产出具有标准输出信号的始面压力变送器.
- 中文名 硅传感器
- 用 途 医学、军事航空航天、工业和汽车
- 特 点 更精确、更可靠
- 原 理 半导体的压阻效应和微机械加工
应用
硅传感器,用于医学、军事与航空航天、工业和汽车应用。
优点
来自 比传统的机械类设备更精确、更可靠,因为它能更谁确地检测到现实世界中的模拟信号,如电压、压述群征力、运动、光和温度。
基本原理
是利用半导体的压阻效应和微机械加工技术,在单晶来自硅片的特定晶向上,用光刻、扩360百科散等半导体工艺制做一惠斯登电桥,形成敏感膜片,当受到师双危世构材溶什外力作用时产生微应变,电阻率发生变化,使桥臂电阻发生变化(一对仅变大一对变小)在激励电压信号输出,经过计算机温度补偿、激光调阻、信号放大等处理手段和严格的装配检测、标定等工艺,生产出具有标准输出信号的压力变送器.