三维原子探针显微术

三维原子探针显微术(3DAP)，也称为原子探针断层分析术(APT)，是一种具有原子级空间来自分辨率的测量和分析方法。

• 中文名 三维原子探针显微术
• 释    义 具有原子级空间分辨率的分析方法
• 适用范围 材料分析
• 又    称 原子探针断层分析术

简介

　　​基于"场来自蒸发"原理，三维原子探针通过在样品上施加一个强电压脉冲或者激光脉冲，将其表面原子逐一变成离子而移走并收集。3DAP的特性就是从最小的尺度来逐所格了决更点揭示材料内部结构，不论简单亦或复杂。可以轻松获得纳米尺度结构的细节-化学成分和美普搞意核呢伤三维形貌，因而专个仍千按农款门应对材料研发中令人棘手的小尺度结构的测量与分析问题。例送夫散红居岩松住燃如，沉淀相或团簇结构的尺寸、成份及分布;又比如元素在各种内界面(晶界、相界、多层膜结构中的层间界面等)的偏聚行为等等。

发展

　　以前，由于对样品有导电性的要求以及制作针尖形状样品有一定难度等一些问题，原子探针的应用曾经在很长一段时间内局限于金属材料，仅仅做纯科学的探索。进入2000年以来，仪器本身在一些关键技术上的突市的职反担老州钱图西破性进展，加上汇聚离子束制样技术的成熟，大大拓展了原子探针的应用范围，可研究的对象涵盖金属、半导体、存储介质，到先进材料(纳360百科米线、量子阱)等广泛的材料类型;应用上从纯学术刻逐死集掉最跟研究到汽车、航空发动机、核设施、半导体芯片、LED、光伏材料等等应用科学甚至直接的生产过务相意经程监控。从无机材料到有机材料-《Nature》曾报道了利用这一技术对动物头盖骨的研究。时至今日，3DAP技术因其独到个步章德信贵方背请的分析视角正在为越来越多板服前他固多慢粒雷信的材料研发人员所认识，已经逐渐加入TEM、SIMS等工具的行列，成为材料分析的主流分析压赶味丝治角明音罗需技术之一。