半导体制造与过程控制基础

《半导体制造与过程控制基础》是2009年机械工业出版社来自出版的图书，作者是梅(GarySMay)。

• 书名 半导体制造与过程控制基础
• 作者 (美国)梅(GaryS May)
• 译者 李虹 马俊婷
• ISBN 9787111256656
• 定价 60.00 元

内容来自简介

　　《半导体制造与过程控制基础》详细地研究并阐述了在高产量制造环境中，电子材料和供料转换为完善的集成电路和电子产品的过程和方法。《半导体制造与过程控制基础》讨论与微电子器件和电路的工业水平制造相关的问题，包括(但不限于)制造、过程控制、试验设计、过怀假多程建模、产出建模和CIM(计算机集成制造)/CAM(计算机辅助制造)系统。《半导体制造与过程控制基础》包括对基本制造概念理论和实践的描述，以及一些案例分析、典型问题和建议的练习。

　　《半导体制造与过程控制基础》可作为相关专业研究生的教材，也可在半导体制民空浓联纪造课程中使用。《半导体制造与过程控制基础》也可作为半导体工业中实践工程师和科研人员的360百科参考书。

作者简介

　　湖Gary S May博士，是乔治散水结河创亚理工大学电子和计算工程学院的教授，他是IEEE会员和制造工程师协会的资深会员。在IC计算机辅助制造领域.他发表了150眼沉青风其须多篇文章，并作了100多品厂场技术讲座。

图书目录

　　译者序

　　原书前言

　　第1章 半导体制造引论

　　第2章 技术纵览

　　第3章 过程监控

　　第4章 统计基础

　　第5章 产出建模

　　第6章 统计过程控制

　　第8章 半导体制造的过程建模

　　第9章 半导体制造的高级过程控制

　　第10章 半导体制造的过程与设备的故障诊断

　　附录

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