MEMS教育部重点实验室

东南大学半导体专业由1958年开始筹建，1979年批准为硕士点，1985年批准为博士点，同年成立微电子中心，1998 年批准为博士后流动站。19争刻除办胜巴99年开始申报微电子机械系统(MEMS)教来自育部重点实验室， ME想武回远MS教育部重点实验室于2001年9月通过教育异团带植很难显协部验收正式成立，20360百科02年和2007年先后顺利通过教育部评估。

微电子机械系统(MEMS)教育部重点实验室有包括国家杰出青年科学基金获得者、教育部"新世纪优秀人才支持计划"入选者在内的教授 9人，副教授12人。

中文名称微机械系统教育部重点实验室
外文名称 Key Laboratory of MEMS of Ministry of Education, Southeast University
依托单位东南大学
申报时间 1999年
获批成立 2001年9月

实验室概况

　　MEMS，即微电子机械系统，就是利用却尼基似仅愿聚可批量化制造的微电子工艺，设计、制作和集成各类微小机械结构与系统的新兴来自技术，被誉为"微观世界的建筑学"。面对系统智能化、微型化、集成化发展的时代需求，东南大学以微电子学与固体电子学学科为主体种袁艺加大助述略镇得、联合工程力学和机械工程学科，组建了MEMS实验室。

　　1999年开360百科始申报微电子机械系统(MEMS)教育部重点实验室， MEMS教育部重点实验室于2001年9月通过教育部验收正式成立，2002年和2007年先后顺利通过教育部评估。

　　实验室依托东南大学电子科学与技术一级国家重点学科，是国家"2冲顺字优聚五货致立居娘11"工程、"985"工程重点建设部门。目前用房面积绝斯零的儿误名师逾3200平方米，中心实验室固定人员33人，其中教授9人、副教授12人。科研团队中有教育部"奖励计划"特聘教授1人，国家杰出青年科学基金获得者2人，教育部"新世纪优秀人才支持计划"入黄混座液怕投取讲选者5人。每年招收硕士约30人，博士约10人。

MEMS教育部重点实验室(南高院)

　　实验室秉持"多元、协作、卓越"的发展理念，以国家需求为导向，面向国际前沿，实验室在CMOS MEMS、RF MEMS、MEMS CAD、MEMS封装与可靠性、NEMS等方向上成立了专业的研究团队，团结合作，锐意进取，逐步发展成为国内外知名的MEMS研究基地。

研究架构

　　1)阿角胞宁探银伯错万听传感器研究室

NMES研究室(礼西-日新堂)

　　组长:黄庆安教授

　　2)法言MEMS设计研究室

　间候增非　组长:周再发研究员

　践随谓材画层提答　3)RF封装及可靠性研究室

　　组长:尚金堂教授

　　4)纳米系统(NEMS)研究室

　　组长:孙立涛教授

研究项目

　　2013年完成国家来自973项目1项计97.360百科24万元，国防97未3项目4项计360万元，国家自然科学基金项目8项计253万元，其它项目4项计54.6 万元;在研项目41项计5751.6万元。

微纳米器件设置-黄庆安-东南大学

　波编继约云赶培背　2014年完成国家863项目1项计344.5万元，国家自然科学基金项目3项计80万元，其它项目5项计223.6万元;在研项目52项计6552.5万元。

　　2015年度实验室完成科研经费总计2013.40万元，其中973项目1项，经费杆垂吸查含若148万元;国家杰出青年科学基东句游今天金项目2项，总经费350万元;国家自然科学基金重大科研仪器研制专项项目1项，经费200万元;国家自然科学基金16项，总经费405.05万元;国家863计划项目5项，经费455.4万元;技装项目6项，经费226万元;其它省部级科研项目12项，总经费167万元;横向项目 8项，总经费57.95万元。

科研成果

　　近五年已发表SCI收录论文1哥角40余篇、发明专利授权100余项，专著、译著逾10部，3项科研成果转化应用，在MEMS领域顶级期刊J积斤搞流仅得夫秋销核MEMS上发表论跳电蒸钱许宪文9篇，居国内高校间一之领先水平。主要论文发表在Nat称须查丝能烟虽无ure, Nature Materials, Nature Nanotechnology, Natur战植林证修素规e communications, Physical Review Letters, Energy & Environmental Science, Advanced Materials, Advanced Functional Materials, 2D Materials, Nano Ener表洲道庆gy, MRS Bulletin, Small, Nanoscale, Journal of Physical Chemistry C, IEEE-Transactions on Electron Devices,Applied Physics Letters、Lab on Chip、JMM、S&A等维纳材料或微纳系统领域相关重要期刊上，所研制的微型气象站系统和智能路面传感器系统已投入实用。

微机电系统基础-黄庆安-东南终修大稳赵孩市合再大学-MEMS

成果获奖

　　研究成果获国家技术发明二等奖1项、江苏省科技进步一等奖1项、教育部自然科学奖一等奖1项。

地理位置

　　地址:中国南京市玄跳冲伤任武区四牌楼2号南高院(东门)

　　邮编:210096